微电子/电子级化学品行业超纯水

电子/电子级化学品用水需求

     电子级用水主要应用于微电子、多晶硅、电子级化学品、真空镀膜等行业。用水需求的主要特点是对金属离子及类金属离子水中剩余量控制要求极高,一般为PPB级别,更高要求为PPT级别。对颗粒含量要求严格,一般要求颗粒度>0.45μm(pcs./mL) 的要控制在1-3。对产水TOC指标一般要求TOC(ppb)25℃ 要小于50,更高要求要控制TOC(ppt)25℃ 小于500。

(说明:PPB是表示液体浓度的一种单位符号,一般读作1/10亿 ;PPT则表达为10的负12次方。)


湿式电子化学品用超纯水 质量标准


湿式电子化学品用超纯水典型工艺流程(G5)


湿式电子化学品用超纯水典型工艺流程(G4)


湿式电子化学品用超纯水典型工艺流程(G3)


案例展示-长沙韶光芯材科技有限公司-超纯水系统

产水水质

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第三方产品水检测报告

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产水水质

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